Сканирующие микроскопы

Ультразвуковой сканирующий микроскоп работает по принципу эхозондирования – регистрации отраженной ультразвуковой волны. Для возможности распространения ультразвука объект исследования помещается в ванну с жидкостью – спиртом или дистиллированной водой. Монохромное изображение выводится на внешний монитор или подключенный компьютер. Как правило, имеет сменные УЗ-преобразователи, от параметров которых зависит разрешение получаемого изображения. Максимально возможное увеличение составляет от х200 до х2000.

Ультразвуковой сканирующий микроскоп формирует томографическое изображение (срез) твердого тела на заданной глубине, что позволяет обнаружить следы удаленной маркировки на корпусе компонента, определить целостность кристалла и внутренних соединительных проводников. С помощью ультразвукового микроскопа можно построить 3D модель подкорпусного пространства электронного компонента.