Вакуумное напыление
Вакуумное напыление различных материалов широко применяется как в технологии изготовления микроэлектронных приборов, так и при создании защитных и декоративных покрытий; в цикле производства некоторых устройств бытовой и промышленной электроники; для проведения экспериментов с новыми материалами.
Существует несколько наиболее распространенных методов вакуумного напыления: термическое, электронно-лучевое, магнетронное, ионно-лучевое. В общем случае все эти методы объединяет использование в качестве рабочего объема вакуумной камеры, в которой располагается образец. Напыление материала может происходить, например, в высоком или сверхвысоком вакууме. Рабочие параметры установки напыления подбирают исходя из технологических требований к процессу, принимая во внимание специфику выбранного метода.