Санкт-Петербург
(812) 425-38-95
пн-пт с 9:00 до 18:00

spb@advanapro.ru

Москва
(499) 638-26-28
пн-пт с 9:00 до 18:00

msk@advanapro.ru

Написать нам
ответим на ваши вопросы
Санкт-Петербург
(812) 425-38-95
пн-пт с 9:00 до 18:00

spb@advanapro.ru

Москва
(499) 638-26-28
пн-пт с 9:00 до 18:00

msk@advanapro.ru

Установка магнетронного напыления SP-compact

Установка магнетронного напыления SP-compact
Малогабаритная установка магнетронного напыления SP-compact представляет собой упрощенный вариант установки SP-203. Установка рассчитана на один образец...
Цена по запросу
+

Малогабаритная установка магнетронного напыления SP-compact представляет собой упрощенный вариант установки SP-203. Установка рассчитана на один образец диаметром до 3" или одну подложку 60х48 мм. Установка оснащается одним магнетроном и специальными держателями для одной, двух или трех мишеней по выбору заказчика и наиболее подходит для R&D задач.



Технические характеристики

Диаметр держателя подложек, ммДо 75, или специальный по ТЗ
Размер подложек, мм60х48 (или 2–3")
Количество, шт.1
Диаметр магнетронов, дюйм2–3
Тип блоков питанияDC или RF
Нагрев образцовОпция
Система откачкиСухой спиральный насос + турбомолекулярный насос
Предельное давление10-7 Торр
Контроль давленияАвтоматический
Скорость вращения подложки, об./мин.5–30
Равномерность по толщине±3%, зависит от конфигурации
Система управленияПЛК
Отслеживание толщиныВремя или кварцевый толщиномер
Смотровое окноЕсть
ОпцииСистема нагрева
Система охлаждения
Другие опции под заказ