Установка магнетронного напыления SP-compact
Установка магнетронного напыления SP-compact
Малогабаритная установка магнетронного напыления SP-compact представляет собой упрощенный вариант установки SP-203. Установка рассчитана на один образец...
Малогабаритная установка магнетронного напыления SP-compact представляет собой упрощенный вариант установки SP-203. Установка рассчитана на один образец диаметром до 3" или одну подложку 60х48 мм. Установка оснащается одним магнетроном и специальными держателями для одной, двух или трех мишеней по выбору заказчика и наиболее подходит для R&D задач.
Технические характеристики
Диаметр держателя подложек, мм | До 75, или специальный по ТЗ |
Размер подложек, мм | 60х48 (или 2–3") |
Количество, шт. | 1 |
Диаметр магнетронов, дюйм | 2–3 |
Тип блоков питания | DC или RF |
Нагрев образцов | Опция |
Система откачки | Сухой спиральный насос + турбомолекулярный насос |
Предельное давление | 10-7 Торр |
Контроль давления | Автоматический |
Скорость вращения подложки, об./мин. | 5–30 |
Равномерность по толщине | ±3%, зависит от конфигурации |
Система управления | ПЛК |
Отслеживание толщины | Время или кварцевый толщиномер |
Смотровое окно | Есть |
Опции | Система нагрева Система охлаждения Другие опции под заказ |