Санкт-Петербург
(812) 425-38-95
пн-пт с 9:00 до 18:00

spb@advanapro.ru

Москва
(499) 638-26-28
пн-пт с 9:00 до 18:00

msk@advanapro.ru

Написать нам
ответим на ваши вопросы
Санкт-Петербург
(812) 425-38-95
пн-пт с 9:00 до 18:00

spb@advanapro.ru

Москва
(499) 638-26-28
пн-пт с 9:00 до 18:00

msk@advanapro.ru

Установка термического напыления TH-450

Установка термического напыления TH-450
Установка термического напыления TH-450
Установка термического напыления TH-450 специально разработана для мелко- и среднесерийных производств. Установка позволяет получать тонкие пленки широкого...
Цена по запросу
+

Установка термического напыления TH-450 специально разработана для мелко- и среднесерийных производств. Установка позволяет получать тонкие пленки широкого спектра металлов (Al, Au, Cr, Cu, Vn, Ni, Ti и др.), диэлектриков и полупроводниковых материалов. Установка может быть легко сконфигурирована под требуемые задачи при работе с пластинами 60 х 48 мм или 2" – 8", обеспечивает хорошую повторяемость результатов при осаждении одно- и многослойных пленок. Равномерность нанесения материалов типично составляет ≤3%. Компактный корпус машины может быть легко размещен в условиях недостатка площадей, конструкция корпуса позволяет разместить установку через стену ЧПП.

Технические характеристики

Диаметр держателя подложек До 350 мм, или специальный по ТЗ
Размер подложек 60 х 48 мм или 2" – 8"
Система откачки Сухой спиральный насос + турбомолекулярный насос или крионасос
Предельное давление 10-7 Торр
Типичная скорость откачки камеры 10-6 Торр за 30 мин.
Скорость вращения подложки 5 – 30 об./мин.
Равномерность по толщине ±3%, зависит от конфигурации
Мощность источника питания3 кВт
Число лодочек1 – 4 шт.
Система управленияПЛК/ПЛК+ПК
Отслеживание толщины Кварцевый толщиномер
Смотровое окно Есть
Сменные экраны для вакуумной камерыЕсть
ОпцииСистема нагрева до +300°С
Система охлаждения
Ионный источник для очистки или ассистирования
Вакуумный шлюз
Другие опции под заказ