Установка термического напыления TH-mini

Установка термического напыления TH-mini специально разработана для использования в R&D лабораториях и на пилотных производствах. Установка проста в...

Цена по запросу

Кол-во:

+ −

Описание

Установка термического напыления TH-mini специально разработана для использования в R&D лабораториях и на пилотных производствах. Установка проста в эксплуатации и универсальна, обеспечивает хорошую повторяемость результатов при осаждении одно- и многослойных пленок.

Технические характеристики:

Габариты камеры	Ø350 мм, высота 440 мм
Размер вольфрамовой лодочки	100 х 10 мм (2 шт. в комплекте)
Размер подложек	3"
Подогрев подложек	До 320°C
Скорость вращение подложки	5 – 30 об./мин.
Равномерность по толщине	≤ ±5%
Предельное давление	10^-7 Торр
Система управления	ПЛК
Отслеживание толщины	Время или кварцевый толщиномер
Смотровое окно	Есть
Опции	Система нагрева Система охлаждения Другие опции под заказ